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单晶硅棒

单晶硅棒

单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。单晶硅棒是在工业生产中使用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。其主要指标有少子寿命,氧含量等等。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料。

技术参数

项目技术参数
边长166mm±0.25mm   /     182mm±0.25mm
直径223mm±0.25mm   /     247mm±0.25mm   
垂直度90℃±0.2
晶向<100>±3°
粗糙度Ra≤0.3um
斜面≤1mm
电阻率0.4-1.1Ω·cm
少子寿命>70μs(BCT-400)
氧含量≤0.8 X1018atoms/cm³
碳含量≤0.5 X1017atoms/cm³
生长方法CZ 直拉法
导电型号/掺杂剂P/掺稼